薄膜技術與薄膜材料 田民波

薄膜技術與薄膜材料pdf是一本由田民波所著的相關技術參考圖書，該書內容豐富，講解通俗，且附帶大量圖解，能幫助讀者全面系統地了解薄膜材料與技術，需要的朋友快來下載吧！

薄膜技術與薄膜材料電子版介紹

關于薄膜及微細加工技術的應用范圍，從大規模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲、MEMS、傳感器、太陽能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術產業的各個領域。本書內容包括真空技術基礎、薄膜制備、微細加工、薄膜材料及應用、薄膜成分與結構分析等5大部分，涉及薄膜技術與薄膜材料的各個方面，知識全面，脈絡清晰。全書共17章，文字通俗易懂，并配有大量圖解，有利于對基本知識的理解、掌握與運用。

薄膜技術介紹

薄膜技術(thin film technique)是薄膜制備、測試等相關的各種技術的總稱。薄膜技術涉及的范圍很廣，它包括以物理氣相沉積和化學氣相沉積為代表的成膜技術，以離子束刻蝕為代表的微細加工技術，成膜、刻蝕過程的監控技術，薄膜分析、評價與檢測技術等等。現在薄膜技術在電子元器件、集成光學、電子技術、紅外技術、激光技術以及航天技術和光學儀器等各個領域都得到了廣泛的應用，它們不僅成為一間獨立的應用技術，而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段

薄膜技術與薄膜材料目錄

第1章 薄膜與高新技術

第2章 真空技術基礎

2.1　真空的基本知識

2.2　真空的表征

2.3　氣體分子與表面的相互作用

第3章 真空泵與真空規

3.1　真空泵

3.2　真空測量儀器——總壓強計

第4章 真空裝置的實際問題

4.1　排氣的基礎知識

4.2　材料的放氣

4.3　排氣時間的估算

4.4　實用的排氣系統

4.5　檢漏

4.6　大氣溫度與濕度對裝置的影響

4.7　烘烤用的內部加熱器

4.8　化學活性氣體的排氣

第5章 氣體放電和低溫等離子體

5.1　帶電粒子在電磁場中的運動

5.2　氣體原子的電離和激發

5.3　氣體放電發展過程

5.4　低溫等離子體概述

5.5　輝光放電

5.6　弧光放電

5.7　高頻放電

5.8　磁控放電

5.9　低壓力、高密度等離子體放電